MEMS傳感器即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。全世界有大約650余家單位從事MEMS的研制和生產工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品。

加速度傳感器是一種能夠測量加速度的傳感器。通常由質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等部分組成。傳感器在加速過程中，通過對質量塊所受慣性力的測量，利用牛頓第二定律獲得加速度值。根據傳感器敏感元件的不同，常見的加速度傳感器包括電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式等。

下面由 ADI 亞太區微機電產品市場與應用經理趙延輝為大家介紹MEMS加速度計工作原理，在本視頻中，重點介紹了：

• 加速度在生活中的現象，并基于生活中的加速度現象引申到 MEMS加速度計的工作原理；

• 胡克定律和牛頓第二定律，以及如果結合這兩個定律來推導出加速度的測量方法；

• 芯片級加速度計的運動示意，以及它的一些設計方法，難點和信號鏈；

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