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壓阻式壓力傳感器您了解嗎?

欄目:專業知識 發布時間:2018-03-06

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   壓力傳感器是工業實踐中最為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號,模擬信號是指信息參數在給定范圍內表現為連續的信號,或在一段連續的時間間隔內,其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現為任意數值的信號。我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。壓力傳感器被廣泛應用于各種工業自控環境,涉及水利水電、鐵路交通、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業。力學傳感器的種類繁多,如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應用
最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性,下面我們主要介紹這類傳感器。 



       

何為壓阻式壓力傳感器?


壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。壓阻式傳感器常用于壓力、拉力、壓力差和可以轉變為力的變化的其他物理量(如液位、加速度、重量、應變、流量、真空度)的測量和控制。當力作用于硅晶體時,晶體的晶格產生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發生變化,擾動了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,因此硅的壓阻效應與晶體的取向有關。硅的壓阻效應不同于金屬應變計,前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化,后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化(應變),而且前者的靈敏度比后者大50100倍。


壓阻式壓力傳感器優缺點

優點:

1.頻率響應高,f0可達1.5M

2.體積小,耗電少

3.靈敏度高,精度高,可測量0.1%的精確度

4.無運動部件(敏感元件與轉換元件一體)

缺點:

1.溫度特性差

2.工藝復雜


封裝材料的選擇決定傳感器的性能

由于半導體材料對溫度十分敏感,所以使用過程中會存在零漂、溫漂等一系列問題,通過軟件補償能夠解決一些問題,但封裝的影響同樣不容忽視,這包括封裝所選材料的電性能、揮發性,以及受熱受寒膨脹收縮系數等等都可能使傳感器性能下降,穩定性下降,甚至會使傳感器無法使用。   

作為國內首家專注MEMS傳感器及系統集成微模塊定制化設計和封裝的解決方案商,捷研芯對壓阻式傳感器的封裝工藝及封裝選材有豐富的經驗,已完成多款壓阻式壓力傳感器樣品封裝,得到客戶廣泛認可。


壓力傳感器封裝咨詢:

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